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          中科院科学技术进步二等奖(超高真空磁控溅射).1994
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          中科院科学技术进步二等奖(超高真空磁控溅射).1994

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          真空室结构:
          真空室尺寸:
          极限真空度:
          沉积源:
          样品尺寸,温度:
          占地面积(长x宽x高):
          电控描述:
          工艺:
          特色参数 :
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